一、前期准备阶段
设备检查与校准
确保喷淋系统管路畅通无堵塞，喷嘴角度和流量分布均匀性需通过水雾测试验证；确认DI水供应压力稳定在设定范围（通常为2.0~3.0 bar），电导率≤0.1μS/cm。
清洁槽体内壁残留杂质，避免交叉污染；检查排液泵工作状态及过滤器完好性，防止颗粒物回流至清洗区域。
载具适配性确认
根据产品尺寸选择合适的卡具或花篮，保证工件之间留有充足间隙以便水流穿透。对于异形件，建议使用定制治具固定位置，确保所有表面均能被喷淋覆盖。
二、上料与固定
规范化装夹操作
佩戴洁净手套将待漂洗零件逐件放入载具，注意避免堆叠遮挡关键部位；重型工件需采用多点支撑结构防止变形。例如，精密光学镜片应垂直悬挂于专用支架上，使液体沿表面自然下流带走污染物。
在入口段设置除尘风幕（如离子风棒），预先吹扫大颗粒灰尘以减轻后续清洗负担。
三、喷淋漂洗核心步骤
预冲洗阶段
启动低压粗洗模式（压力约1.5 bar），从下至上对工件进行初步冲洗，去除大部分松散附着的污染物。此时水温可略高于环境温度（≤40℃），加速表面活性剂乳化油脂类物质。持续时间视污染程度而定，一般不超过总周期的30%。
主精洗阶段
切换至高压精细喷淋（可达5 bar），采用多角度交错布置的扇形喷嘴实现全方位冲击。重点区域的停留时间通过伺服电机控制的旋转臂调节，确保复杂几何结构的深孔、凹槽等死角得到有效清洗。此阶段DI水电阻率需维持在18MΩ·cm以上，防止离子型污染物重新沉积。
溢流回收利用
底部设置斜面导流槽收集废水，经多级沉淀池分离固体颗粒后循环使用。配备在线颗粒计数器实时监测循环水质，当粒径>0.5μm的数量超过警戒值时自动排放废液并补充新鲜DI水。
四、过程监控与调整
动态参数补偿机制
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利用传感器实时采集出水浊度、pH值和温度数据，通过PLC控制系统自动修正洗涤时间和化学添加剂注入量。例如，遇到高浓度切削液污染时，可智能增加碱性清洗剂比例并延长浸泡时间。
人机交互界面优化
操作屏显示三维模型仿真水流轨迹，帮助技术人员直观判断是否存在冲洗盲区；历史记录功能支持追溯任意批次产品的完整工艺曲线，便于质量异常溯源分析。
五、干燥与下料处理
梯度脱水设计
先以低速离心甩干去除表面挂壁水珠（转速不超过300rpm），再进入热风刀区进行定向吹扫。压缩空气需经过精密除油除湿处理，露点温度低于-40℃，避免引入新的污染源。对于微结构器件，可采用真空抽吸结合IPA蒸汽置换的方式实现无残留干燥。
洁净度验证环节
随机抽取样品进行接触角测试（合格标准>80°）、表面粗糙度检测（Ra≤0.02μm）及激光粒子计数扫描（≥0.1μm颗粒数<10个/片）。不合格品需返回指定工位返洗，并记录异常信息供工艺改进参考。
六、设备维护与保养
周期性预防性维护
每周拆卸清洗喷头滤芯，每月校核压力传感器精度；每季度更换循环泵机械密封件，防止泄漏导致微生物滋生。建立润滑点检制度，关键轴承部位按制造商手册要求加注食品级润滑油脂。
故障预警系统部署
通过振动分析仪监测电机运行状态，提前发现轴承磨损迹象；利用超声波测厚仪跟踪管道腐蚀速率，动态规划备件更换计划。历史维修数据显示，实施预测性维护可使设备停机时间减少40%以上。
该流程强调工艺参数的动态自适应控制与全过程质量监控，特别适用于半导体级高洁净度要求的零部件清洗场景。实际运用中需根据具体工件材质（如铝合金、陶瓷复合材料）、污染类型（切削液、助焊剂残留）及产能需求进行定制化调整。返回搜狐，查看更多